花岗石气浮导轨的制作采用了是空气静压轴承技术,因此它具有轴/径向跳动小、重复定位精度高、加载驱动力小、能在极高转速下平稳工作等特性.为了保证气浮导轨具备这些性能,在选用制作材料时要求它具有以下特征:
1.导热性要好,随时间及空间改变,温度随之改变进而造成构件内部的温度梯度,引起机器结构的扭转和弯曲;
2.热膨胀系数要小,避免在温度变化下产生过大的伸长缩短;
3.要具有比较大的弹性,避免花岗石气浮导轨在受力后出现较大的变形;
4.要有着较高的硬度及耐磨性,保证在加工及使用中都不会轻易划伤、磨损;
5.具有较高的强度,在一定的力量范围内不易断裂;
6.对于运动部分的材料,在密度上要小,保证由于测量机的高速、高加速运动而产生的测量机惯性力不会造成损伤;
7.考虑材料吸水率小,以免受潮变形(质量差的花岗石,由于吸水,足以引起微米级的变形);
8.工艺性好,易于加工,成本要低.
作为超精密测量、超精密加工和半导体光刻等领域的重要应用,花岗石气浮导轨的材料具备上述性能才能在使用中正常发挥作用.
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