要想在材料表面获得精细结构图样，最佳选择是采用电子显微镜扫描技术，利用机电电子束在其表面进行复杂的光刻。这项技术已应用在铂、金、铜等许多金属材料纳米结构制作上，但还没有成功应用于银材料。银在电子工业领域有着广泛应用前景。
此次，研究小组成功地利用光刻技术在银材料上制作出纳米结构晶体。这项实验最大的难点是寻找合适的银化合物，以及开发用于电子束的注射部件。由于典型银化合物的化学活性非常强，且很难气化，即使在注射部件加热与容器壁反应时也如此，容器到注射部件针尖的通道常会在试验温度降低时堵塞，因此要满足光刻技术要求特别难。
物理学家霍夫利希博士介绍说，他们选用的银二甲化合物很稳定，仅在电子束聚焦处分解。银材料光刻技术的原理与其它材料光刻技术相似，光刻机的针尖将微量先导材料，一般是有机金属化合物靠近试样表面注射。电子束照射在样品表面，将表面的材料分子和非挥发性残留物分解，并固定在样品一定的位置上。电子束就像笔一样在材料底层上游走，将所希望的结构绘制出来。这项技术还适用于在许多底层材料上绘制三维结构图。
新研制成功的银纳米结构材料具有非同一般的光学特性，可见光可控制自由电子在银结构里振动，即形成所谓等离子元，并通过密集的光束来显示，通过光的密集度和颜色，就可以读取结构表面的相关信息。借助拉曼光谱还可以将这种效应当作验证特定分子的“指纹”。
银纳米结构在电子和信息技术领域有相当大的应用潜力，可以作为纯光学数据处理的基础材料，但要实际应用还需要进一步细化银纳米结构光刻工艺。
