当前，国产MOCVD设备陆续进入市场。和进口MOCVD设备相比，国产设备有着自己的优势。除了价格过高之外，进口设备存在诸多方面的问题。首先，设备商不提供工艺技术方面的服务，设备产能好坏是使用者的事;其次，服务不到位，而且成本过高，使用者仅承担来自欧美技术服务人员的差旅费用就动辄数万元;最后，零部件费用极其昂贵，也让使用者无法承担。
反观国产MOCVD设备提供商，除了价格方面的优势外，一方面能够提供固化在设备中的工艺技术，有的甚至已高达120流明/瓦，成为缺少工艺技术公司的福音;另一方面及时的全方位服务和零部件供应也会赢得客户的青睐。
LED产业的发展离不开政府的正确引导和扶持。部分地方政府曾对进口MOCVD设备给予高达1000万元/台的补贴，这也一度被诟病为导致如今LED芯片产能过剩、价格大跌的原因之一。当前，在停止对进口设备进行补贴的同时，业内希望有关部门能尽快出台政策推动国内设备和外延芯片厂商紧密合作，鼓励双方进行联合开发、设备试用等。另外，目前国产MOCVD设备仍有少量关键零部件和材料依赖进口，也可考虑降低相关税率。
